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Product Category中圖儀器3D光學(xué)輪廓儀器能夠以優(yōu)于納米級的分辨率測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、微觀幾何輪廓、平整度、曲率等,應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。
w1光學(xué)3D表面輪廓儀的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm,滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。測量三維形貌的系統(tǒng)原理是在視場范圍內(nèi)從樣品表面底部到頂部逐層掃描,獲得數(shù)百幅干涉條紋圖像,找到該過程中每一個(gè)像素點(diǎn)處于光強(qiáng)大時(shí)的位置,完成3D重建。
中圖儀器光學(xué)輪廓儀W系列采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高。能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。
中圖儀器SuperViewW1光學(xué)檢測設(shè)備輪廓儀主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓尺寸,此外具有測量晶圓翹曲度的功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應(yīng)變測量以及表面形貌測量。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
中圖儀器SuperViewW系列高精密光學(xué)輪廓儀由照明光源系統(tǒng),光學(xué)成像系統(tǒng),垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。
SuperViewW1半導(dǎo)體光學(xué)輪廓測量儀器用于表面形貌紋理,微觀結(jié)構(gòu)分析,用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等領(lǐng)域。是以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。
SJ5760-PR輪廓尺寸測量儀器測量精度高,量程大,測量速度快,智能化應(yīng)用與檢定軟件相結(jié)合,保護(hù)測針和測量系統(tǒng),儀器操作靈活自如,可以大大提高測量工作效率。是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器。
中圖儀器SJ5700尺寸輪廓測量儀具有精度高,量程大,測量速度快等特點(diǎn)。智能化應(yīng)用與檢定軟件相結(jié)合,保護(hù)測針和測量系統(tǒng),儀器操作靈活自如,可以大大提高測量工作效率。測量效率高、操作簡單、適用于車間檢測站或計(jì)量室使用。
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