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以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)的3d輪廓儀是用于樣品表面微觀形貌檢測(cè)的精密儀器。可以達(dá)到納米級(jí)的檢測(cè)精度，并快速獲得被測(cè)工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的光學(xué)3d輪廓儀檢測(cè)儀對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行高品質(zhì)監(jiān)控時(shí)不需要取下產(chǎn)品或停止生產(chǎn)，而且采用的是非接觸式光學(xué)測(cè)量，在獲得實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)的同時(shí)，不會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成任何損傷，從而有效節(jié)約了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，并且在線檢測(cè)，沒有滯后性，從而減少不合格品，對(duì)表面缺陷檢測(cè)亦如此。

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的3d白光輪廓儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，可為樣品表面測(cè)量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測(cè)量解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡(jiǎn)便，可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。可以用于測(cè)試各類表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于測(cè)試直至100%反射率的各類高反表面。

SuperView W1三維輪廓測(cè)量?jī)x基于白光干涉原理，不僅用于零件的檢測(cè)，還是一種在生產(chǎn)中用于檢測(cè)軋制產(chǎn)品表面缺陷的設(shè)備，能完成缺陷尺寸的在線檢測(cè)。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

SuperView W1系列三維表面形貌儀是以白光干涉技術(shù)為原理，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)，適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測(cè)量變得簡(jiǎn)單。

SJ5760表面輪廓測(cè)量?jī)x是專門用來檢測(cè)經(jīng)機(jī)械加工后工件的表面粗糙度、表面輪廓的機(jī)電一體化精密測(cè)量?jī)x器，能夠滿足軸承行業(yè)所有的測(cè)量需求，具備軸承輪廓度評(píng)價(jià)功能，是大曲面測(cè)量領(lǐng)域精細(xì)粗糙度測(cè)量的利器。

中圖儀器表面輪廓測(cè)量?jī)x廠家是高新技術(shù)企業(yè)，十多年發(fā)展以來一直堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，致力于精密測(cè)量、計(jì)量檢測(cè)等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。如今產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于計(jì)量質(zhì)量檢測(cè)機(jī)構(gòu)、汽車、航空航天、機(jī)械制造、半導(dǎo)體加工、3C電子等行業(yè)。

SJ5760-PR輪廓度測(cè)量?jī)x檢測(cè)物件表面粗糙度和輪廓，采用進(jìn)口高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)、高精度研磨導(dǎo)軌，*被測(cè)件測(cè)量精度要求。并且針對(duì)同類型大批量的工件，能進(jìn)行掃描測(cè)量，將數(shù)據(jù)進(jìn)行SPC統(tǒng)計(jì)。