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高精度白光干涉儀

簡要描述:SuperViewW1高精度白光干涉儀對各種精密器件表面進行納米級測量,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點,測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

  • 更新時間:2024-05-13
  • 產品型號:SuperViewW1
  • 廠商性質:生產廠家
  • 訪  問  量:1122

詳細介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器價格區間面議
產地類別國產應用領域化工,能源,電子,綜合

SuperViewW1高精度白光干涉儀以白光干涉技術為原理,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

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性能參數

型號

W1

光源白光LED
影像系統1024×1024
干涉物鏡

標配:10×

選配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光學ZOOM

標配:0.5×

選配:0.375×、0.75×、1×

標準視場0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學ZOOM 0.5×)


XY位移平臺

尺寸
320×200㎜
移動范圍140×100㎜
負載10kg
控制方式電動
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動
形貌重復性0.1nm
粗糙度RMS重復性0.005nm
臺階測量

準確度:0.3%;重復性:0.08%(1σ)

可測樣品反射率0.05%~100%
主機尺寸700×606×920㎜


產品功能

1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能;

3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

薄膜粗糙度測量.jpg

薄膜粗糙度測量

超光滑透鏡測量.jpg

超光滑透鏡測量


應用領域

對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。


SuperViewW1高精度白光干涉儀對各種精密器件表面進行納米級測量,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點,測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

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