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非接觸式3d光學輪廓儀

簡要描述:?中圖儀器非接觸式3d光學輪廓儀SuperViewW1能夠以優于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數,廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等領域。非接觸高精密測量方式,不會劃傷甚至破壞工件,而且測量速度快,不必像探頭逐點進行測量。對高深寬比的溝槽結構,可以快速而準確的得到理想的測量結果。

  • 更新時間:2024-05-12
  • 產品型號:SuperViewW1
  • 廠商性質:生產廠家
  • 訪  問  量:1364

詳細介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器產地類別國產
適用范圍三維形貌測量電動機功率0.3kW
外形尺寸900×700×604㎜mm重量150kg
應用領域環保,能源,航天,綜合

中圖儀器非接觸式3d光學輪廓儀SuperViewW1能夠以優于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數,廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等領域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。


SuperViewW1白光干涉儀,光學3D表面輪廓儀.jpg


它采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量。


結果組成:

1、三維表面結構:粗糙度,波紋度,表面結構,缺陷分析,晶粒分析等;

2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;

3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量;

5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量;

6、微電子表面分析和MEMS表征。


SuperViewW1白光干涉儀,光學3D表面輪廓儀.jpg


主要應用領域:

1、用于太陽能電池測量;

2、用于半導體晶圓測量;

3、用于鍍膜玻璃的平整度(Flatness)測量;

4、用于機械部件的計量;

5、用于塑料,金屬和其他復合型材料工件的測量。


SuperViewW1非接觸式3d光學輪廓儀非接觸高精密測量方式,不會劃傷甚至破壞工件,而且測量速度快,不必像探頭逐點進行測量。對高深寬比的溝槽結構,可以快速而準確的得到理想的測量結果。

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