詳細介紹
品牌 | CHOTEST/中圖儀器 | 價格區間 | 面議 |
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產品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 | 產地類別 | 國產 |
應用領域 | 化工,能源,電子,電氣,綜合 |
CHOTEST中圖儀器3d光學輪廓儀品牌SuperViewW1采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優異的3D重建算法組成測量系統,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。是一款用于對各種精密器件表面進行納米級測量的光學儀器。
設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;
測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能;
測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能;
分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能;
分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
結果組成:
1、三維表面結構:粗糙度,波紋度,表面結構,缺陷分析,晶粒分析等;
2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;
3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量;
5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量;
6、微電子表面分析和MEMS表征。
型號 | W1 | |
光源 | 白光LED | |
影像系統 | 1024×1024 | |
干涉物鏡 | 標配:10× 選配:2.5×、5×、20×、50×、100× | |
光學ZOOM | 標配:0.5× 選配:0.375×、0.75×、1× | |
標準視場 | 0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學ZOOM 0.5×) | |
XY位移平臺 | 尺寸 | 320×200㎜ |
移動范圍 | 140×100㎜ | |
負載 | 10kg | |
控制方式 | 電動 | |
Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
控制方式 | 電動 | |
形貌重復性 | 0.1nm | |
粗糙度RMS重復性 | 0.005nm | |
臺階測量 | 準確度:0.3%;重復性:0.08%(1σ) | |
可測樣品反射率 | 0.05%~100% | |
主機尺寸 | 700×606×920㎜ |
1、高精度、高重復性
采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優異的3D重建算法組成測量系統,保證測量精度高;
隔振系統,能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產車間環境中能穩定使用,獲得高測量重復性;
2、環境噪聲檢測功能
具備0.1nm分辨率的環境噪聲檢測模塊,能夠定量評估出外界環境對儀器掃描軸的震動干擾,在設備調試、日常監測、故障排查中能夠提供定量的環境噪聲數據作為支撐。
3、精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。
4、雙重防撞保護措施
在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進入緊急停止狀態,最大限度的保護儀器,降低人為操作風險。
5、雙通道氣浮隔振系統
既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以接入標配靜音空壓機,在無外接氣源的條件下也可穩定工作。
中圖儀器3d光學輪廓儀品牌能夠以優于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數,廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等等領域。
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